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紫外激光加工成为冷加工，是因为紫外光子的高能量分子，直接把需要加工的金属或者非金属材料上面的分子使其脱离，然而这个脱离导致了分子跟材料分离了，这样的工作方式不会产生热量，由于这不会产生热量的工作方式因而紫外激光加工的方式成为了冷加工，这就来源，也是跟传统激光的区别。
“冷加工”具有很高负荷能量的（紫外）光子，能够打断材料（特别是有机材料）或周围介质内的化学键，至使材料发生非热过程破坏。这种冷加工在激光标记加工中具有特殊的意义，因为它不是热烧蚀，而是不产生"热损伤"副作用的、打断化学键的冷剥离，因而对被加工表面的里层和附近区域不产生加热或热变形等作用。例如，电子工业中使用准分子激光器在基底材料上沉积化学物质薄膜，在半导体基片上开出狭窄的槽。
关于避免结露
防止激光晶体及LD 腔面结露
禁止激光器系统在高湿度环境下工作，客户应确保环境湿度小于60%。当激光晶体温度与环境温度温差过大（大于10 度），将可能导致激光晶体结露，结露将导致激光器系统功率下降或损坏。因此当环境温度远大于水箱设定温度（大于10 度以上）时，严禁激光器系统处于单开水冷机而激光头不工作的状态。在此状态下，建议采用以下步骤进行操作：
在开机时，先打开冷水机，待制冷机温度显示低于30℃，启动电源并将电流缓慢调节至10A 左右；待制冷机温度显示在工作温度（18℃左右）时，再缓慢的将电流调节至工作电流（35A 左右）。
在关机时，先将电流缓慢的降至10A 左右并停止电源输出，关闭电源，再尽快关水冷机。如果不在 电流处工作，可以适当调高制冷机制冷温度（但不得高于25℃）务必在规定的环境内使用激光器系统设备（南方操作环境应加装空调）。
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